ソリューション
Chamber Matching (CM)

装置群の加工能力を最大化して高い歩留まりを確保

最適なチャンバーを自動的に識別

すべてのセンサーの
完全なトレース分析

時間ベースのチャンバー分析が簡単に

無制限の数のチャンバーを比較可能

さらに詳しく見る

1、2、3の
ように簡単な詳細
なチャンバー比較

STEP 1

対応するプロセスおよびチャンバーからフルトレースFDCデータを読み込みます。

STEP 2

チャンバーの参照タイプを選択:手動または自動

STEP 3

分析を実行

数分で結果

各パラメーターの包括的なトレースレベルの結果

使用事例 01

チャンバー群の比較

マルチチャンバー分析

CM は複数のチャンバーを同時に分析できるため、チャンバーの比較プロセスが大幅に簡素化されます。


基準チャンバー

基準チャンバーは自動的に選択するか、手動で割り当てることができます。

チャンバーの比較

最適なチャンバーから最悪なチャンバーまでの結果


一目で分かるパラメータによる比較

選択されたパラメータのトレースデータは、チャンバーによってオーバーレイされ、色分けされます。

使用事例 02


時間ベースのチャンバー性能分析

使用事例 02


時間ベースのチャンバー性能分析

使用事例 02


時間ベースのチャンバー性能分析

資料
Product Brochure BISTel Chamber Matching
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