ソリューション
eDataLyzer

高度なデータ分析プラットフォームは、迅速かつ正確な根本原因分析により、
歩留まりと品質を向上させます。

様々なデータソースをセンターデータベースへ統合

ウェハーマップパターンを自動的に検出して分類

大規模なデータセットの簡単なマイニング

完全なセンサートレースを利用した徹底的な根本原因分析

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クラス最高の根本原因分析

Map Analyzer | MA

・ ウェハーパターンの自動グループ化

・ 歩留まりへの影響、パターンサイズなどに基づくパターンのランキング

・ 定義済みのパターンライブラリが不要

IntelliMine | IM

・ 様々な種類のデータを使用して品質の問題を分析
(例:歩留まり、E試験、計測、欠陥など)

・ 分析に最適なアルゴリズムを自動的に選択

・ 考えられる原因を合理化して技術者の効率を改善

Trace Analyzer | TA

・ どんなに微妙であっても、センサートレースの異常を包括的に検出

・ 根本原因を特定して、レシピステップレベルまでブレークダウン

・ 根本原因分析時間を大幅に短縮

使用事例


オープンな / 短いエッジパッチの障害の使用事例

問題点

2枚のウェハーロットで、エッジパッチの電力が不足し、5時と11時の位置で不良が発生しました

分析

根本原因を数分で正確に特定


結果

数分で特定される正確な根本原因

eDataLyzer は、ウェハーエッジにおける歩留まり低下問題の根本原因を迅速かつ正確に特定するのに役立った(潜在的に数日から数分)

重大な歩留まりに影響するパラメータを特定

このソリューションにより、技術者が重要なパラメータリストに追加される監視されていない主要なパラメータを発見することができた

必要とされる最小限のリソース

1人の技術者が根本原因分析全体を実行し、追加のドメインリソースは不要

資料
Product Brochure BISTel eDataLyzer
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