ソリューション
Dynamic Fault Detection (DFD)

次世代の障害検出は、従来のFDCシステムの制限を克服する完全なトレース分析を提供します

すべてのセンサーでのリアルタイムの完全なセンサートレース分析

検出の為のモデリングは不要

誤警報を1/10に
低減

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完全なセンサートレース障害検出

従来のFDC

典型的なFDCシステムは、特定のレシピステップ(平均、最小、最大、
標準偏差、範囲など)でトレースデータを要約します。

BISTel DFD(動的障害検出)

センサートレースデータには、プロセスの多くの微妙な差異と詳細を含む豊富な情報があり、微妙な歩留まりやツールの問題を特定するのに役立ちます。

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簡単な分析

結果をトレースするためのアラームの概要は、ワンクリックでOKです。

使用事例


包括的な障害検出

ケース01


完全なセンサートレースカバレッジ

装置:エッチャー / プロセス:BE / パラメーター:He_Flow

従来のFDC

レシピステップ 3 を監視するためにSPC規格が設定されました。このプロセス中にアラームは発生せず、異常を見逃しました。

BISTel DFD(動的障害検出)

完全なセンサートレースを調べることにより、DFDはすべてのレシピステップの問題を識別し、適切なアラームを実行することができました

ケース 02


微妙な問題の検出

プロセス:リソグラフィー  パラメーター:レジストベークプレート温度

従来のFDC

A. ウェハー #14、#15、#16の
異常な温度プロファイル

B. ウェハーがSPC規格内で通過し、異常を見逃しました。

BISTel DFD(動的障害検出)

DFDはトレース分析を使用して異常を簡単に識別しました

資料
Product Brochure BISTel Dynamic Fault Detection
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BISTel がデータを実用的な情報に変換する方法を詳しくご覧ください。

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