解决方案
Chamber Matching (CM)

深挖一组腔室的最高性能,确保高良率

自动识别最佳腔室

针对所有传感器进行全面追溯分析

基于时间的腔室分析使工程师的工作变得轻松

能比较无限数量的腔室

仔细考察

详细的腔室比较只需三步走

STEP 1

加载相应过程和腔室的全面追溯 FDC 数据

STEP 2

选择腔室参考类型:人工或自动

STEP 3

运行分析

在数分钟内获得结果

各参数的综合性微量级结果

用例 01


一组腔室的比较

多腔室分析

CM 能同步分析多个腔室,大幅简化腔室比较过程


参考腔室

参考腔室可以自动选择或人工指定

腔室比较

获得从与参考腔室最匹配的腔室到最差腔室的结果


参数比较图表

所选腔室的追溯数据叠加在一张图上,按腔室分配颜色代码

用例 02


基于时间的腔室性能分析

用例 02


基于时间的腔室性能分析

用例 02


基于时间的腔室性能分析

资源
Product Brochure BISTel Chamber Matching
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