解决方案
eDataLyzer

这一高级数据分析平台,通过快速准确地根本原因分析,提高良率和质量

将各种数据源统合到一个中央数据库中

自动检测和分类晶片图模式

不费力对大型数据集进行数据挖掘

利用全面传感器追溯进行透彻地根本原因分析

仔细考察

同类最佳的根本原因分析

Map Analyzer | MA

• 自动分组晶片图模式
• 根据良率影响、模式尺寸等条件对模式评级
• 无需预定义的模式库

IntelliMine | IM

• 利用各种数据分析质量问题(例如:良率,Etest,计量学和缺陷等)

• 选择用于自动分析的最佳算法

• 精简可能的原因以提高工程师的效率

Trace Analyzer | TA

• 全面检测有关传感器追溯的任何异常,无论是多么细微的问题

• 下钻至工艺程序步骤级别查明根本原因

• 显著削减根本原因分析用时

用例


边缘贴片断路/短路故障用例

问题

2 个晶片批次蒙受边缘贴片短路和扫描故障的困扰,问题出现在5 点钟和 11 点钟两个方向的位置上


分析

在数分钟内精准查明根本原因

结果

在数分钟内精准找到根本原因

eDataLyzer 帮助用户快速准确地查明晶片边缘良率下降问题的根本原因(可能耗时几天或几分钟)

找到关键良率影响参数

工程师利用此解决方案可找到未受监控的主要参数,并将这些参数添加到关键参数列表中

只需最少量的资源

一位工程师即可执行完整的根本原因分析,无需其它领域资源

资源
Product Brochure BISTel eDataLyzer
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