解决方案
动态故障检测 (DFD)

下一代故障检测功能,提供全面追溯分析,轻松克服原有 FDC 系统的局限

针对所有传感器进行实时全面的传感器追溯分析

无需进行局限建模

将误报警量减少 10 倍以上

仔细考察 1

全面传感器追溯故障检测

传统 FDC

典型的 FDC 系统在特定工艺程序步骤收集追溯数据的摘要:平均值,最小值,最大值,标准偏差,极差,等

BISTel DFD (动态故障检测)

传感器追溯数据里带有大量信息,包含流程中的许多细微差别和详细信息,
有利于识别微小的良率或工具问题

仔细考察 2

不费力地分析

只需点击一下,即可获取追溯结果的报警摘要

用例


综合性故障检测

用例01

全面传感器追溯方案

设备:蚀刻机/过程:BE/参数:He_Flow

传统 FDC

设定 SPC 限值来监控工艺程序步骤 3,在此过程中不会触发警报

BISTel DFD (动态故障检测)

通过审查全面传感器追溯,DFD 能够识别所有工艺程序步骤中的问题,
并作出相应报警

用例 02

检测微小问题

过程:光刻参数:光阻涂布烤箱温度

传统 FDC

A. 14、15 和 16 号烤箱中晶片的温度曲线异常

B. 晶片超过了 SPC 限值

BISTel DFD (动态故障检测)

DFD 通过追溯分析,可轻松识别异常

资源
Product Brochure BISTel Dynamic Fault Detection
下载

询问专家!

详细了解 BISTel 将您的数据转为可行智能的方法。

申请演示